Краткий обзор установки вакуумного термического напыления
Двухмагнетронная настольная установка напыления в вакууме (DC/DC) два источника (IRV-E001-023)
Назначение и принципы работы
Вакуумная установка предназначена для нанесения металлических и диэлектрических покрытий методом магнетронного распыления в вакууме с возможностью предварительного нагрева обрабатываемых подложек до 500 °С. Для распыления металлических мишеней используется магнетрон постоянного тока DC. Принцип работы заключается в распылении материала мишени ускоренными ионами инертного газа и последующем осаждении его на подложке (образце). При смешении плазмообразующего газа с реактивным возможно получение пленок диэлектриков (оксиды, нитриды).
Данным методом можно получать тонкие пленки из Cr, Cu, Au, In и других металлов, а также оптические и упрочняющие покрытия из оксидов нитридов и других материалов.
Эта установка представляет собой компактный вакуумный пост с двумя магнетронами с точным и программируемым контролем температуры, который подходит для нанесения покрытий на большинство металлических и органических материалов на площадь подложкодержателя диаметром 100 мм. Встроенный вращающийся держатель образца обеспечивает равномерность покрытия по толщине. Оборудование оснащено источником смещения напряжением 1000 В для очистки предметного столика и образцов камеры с целью улучшения качества покрытия в плазме тлеющего разряда.
Особенности установки
- Диаметр мишени магнетрона, мм: 100.
- Дверь на передней части камеры.
- Заслонка магнетронов с ручным приводом (электрический привод опционально).
- Цифровой регулятор температуры подогрева подложки, точностью +/- 1ºC.
- Один вращающийся столик для образца диаметром 100 мм установлен в нижней части камеры для нанесения покрытия.
- Расстояние между держателем образца и источником испарения регулируется.
- Встроенный порт впуска газа 1/4 NPS для очистки инертным газом. Автоматический регулятор массового расхода газа на два канала в базовой комплектации. Пределы регулировки до 500 см3/с.
- Чиллер системы охлаждения входит в комплект.
- Компрессор для пневмосистемы входит в комплект.
- Кварцевый резонаторный датчик измерения толщины покрытия с системой измерения в базовой комплектации.
- Источник питания магнетронов 1000 Вт.
- Турбомолекулярный насос для глубокого вакуума и быстрого вакуумирования (производства Япония) – в базовой комплектации.
- Два источника питания магнетронов 2 х 1000 Вт – в базовой комплектации.
Опции
- Мишени для магнетрона из любых материалов доступны по запросу.
- Установка третьего магнетрона и источника питания для распыления диэлектрических мишеней – опционально.
- Электрический привод подъема столика для образцов - опционально.
Рис. Дополнительный источник для очистки в плазме тлеющего разряда. На фото запечатлен процесс очистки
Рис. Кварцевый резонатор, устанавливаемый в вакуумную камеру с блоком управления
Рис. Автоматический регулятор массового расхода газа (РРГ)
Рис. Мишени для магнетрона из металлов и диэлектриков высокой чистоты – опционально
Рис. Возможность установить дополнительные функции в установке – опционально
Рис. Компактное исполнение
Технологических процесс состоит из следующих стадий:
- Размещение подложек и материала-мишени в камере.
- Откачка воздуха до высокого вакуума (~10⁻⁶ мбар).
- Распыление мишени магнетроном с последующим осаждением атомов/молекул на поверхности подложки.
- Контроль толщины и равномерности покрытия с помощью датчиков.
- Завершение процесса, охлаждение и напуск атмосферы в камеру.
Применение
- Производство оптических покрытий (линзы, зеркала).
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
- Создание декоративных и защитных пленок.
- Создание упрочняющих покрытий.
Преимущества
- Высокая чистота и однородность покрытия.
- Возможность работы с широким спектром материалов.
- Точная регулировка параметров напыления и температуры подогрева образцов.
Условия и способы оплаты
Оплата товара осуществляется только безналичным переводом денег согласно выставленному счету.
Мы с пониманием относимся, что купить дорогостоящее оборудование не всегда сразу возможно. Мы предлагаем нашим клиентам воспользоваться финансовым инструментом - Лизинг. Нашими партнерами по лизинговым компаниям являются “Дельта Лизинг”, “Балтийский лизинг” и другие, которые специализируются на оборудовании для металлообработки.
Мы предлагаем различные условия оплаты по согласованию сторон. Ниже указаны наши стандартные условия оплат, если оборудование поставляется под заказ.
50% - предоплата;
40% -по факту готовности к отгрузке со склада в г. Москве;
10% - после ввода оборудования в эксплуатацию..
Счета выставляются в рублях, Китайских Юанях, Долларах США или в Евро. Оплата счетов в Китайских Юанях, Долларах США или в Евро производится по курсу Евро ЦБ РФ.
Доставка
Доставка оборудования производится по всей территории России и стран СНГ. Обычно мы пользуемся услугами транспортной компанией “Деловые линии”, но вы можете подобрать транспортную компанию на свой выбор.
Самовывоз оборудования осуществляется по адресу Москва, Южнопортовая ул, 28 При получении товара необходимо иметь при себе доверенность или печать компании.
Время работы склада:
Пн-Пт: с 09:00 до 18:00;
Cб, Вс: выходные дни.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос