Установка вакуумного напыления HCMS+CA-650
Оснащена:
- Несбалансированными источниками магнетронного распыления с заслонкой мишени – 2 шт
- Блоками вакуумно-дугового напыления (блок включает 3 мишени) – 2 шт
- Высоковольтным источником питания для потенциала смещения с функцией очистки и травления в плазме тлеющего разряда – 1 шт
Установка предназначена для нанесения металлических пленок и функциональных покрытий из карбида азота. Установка имеет модульную конструкцию, что обеспечивает возможность для последующей модернизации и трансформации с учетом гибкости и практичности. Процесс нанесения покрытия полностью автоматизирован, что обеспечивает высокое качество, прекрасную адгезию пленок.
Рис. 1 общий вид установки*
* Окончательный вид зависит от ТЗ заказчика и может отличаться от приведенного
Конструктивные особенности установки вакуумного напыления
Рис. 2 Расположение дуговых и магнетронных испарителей диаметральное, для равномерного нанесения покрытия
Рис. 3 Размеры внутренней части вакуумной камеры
Рис. 4 Общие габариты и компоновка оборудования
Основные технические характеристики оборудования*
*- могут быть изменены по требованию заказчика
| Наименование | Ед. изм. | Значение |
| Диаметр вакуумной камеры | мм | 1000 |
| Высота вакуумной камеры | мм | 1200 |
| Эффективная площадь покрытия не менее Диаметр х Высота | мм х мм | 650х700 |
| Окно для наблюдения технологического процесса | шт | 2 |
| Материал вакуумной камеры | марка | Нерж сталь 304 |
| Тип охлаждения вакуумной камеры | тип | Водяное ленточное охлаждение |
| Толщина стенок вакуумной камеры | мм | 14 |
| Предельный вакуум в холодной вакуумной камере | Па | 5,0E - 4 |
| Предварительный вакуум в вакуумной камере | Па | 3.0E - 3 |
| Время вакуумирования холодной чистой камеры до 3 × 10-3 Па, не более | мин | 30 |
| Магнетрон несбалансированный прямоугольной формы с источникам питания | компл | 2 |
| Блок дугового распыления | шт. | 2 |
| Опция предварительной ионной очистки образцов | наличие | да |
| Предварительный нагрев образцов в камере до | С | 500 |
| Скорость вращение образцов | Об/мин | 0 - 6 |
| Количество каналов в системе подачи рабочего газа, не менее | шт. | 4 |
| Мощность источника питания магнетрона | кВт | 40 |
| Мишень для дугового испарения 250 А | шт. | 6 |
| Мощность источника очистки в плазме тлеющего разряда (напряжение смещения) | кВт | 20 |
| Источник ионов для ионного травления, ионного азотирования, очистки, нагрева | наличие | да |
Тип движения рамки с держателями образцов - вращение по окружности + вращение вокруг оси;
Метод нанесения покрытия:
Магнетронное распыление (HIPIMS) + плазменно-дуговое распыление + очистка в плазме тлеющего разряда
Требования для установки оборудования
| Наименование | Ед. изм. | Значение |
| Напряжение питания | В | 380 |
| Частота питающей сети | Гц | 50 |
| Потребляемый установкой ток, не более | А | 500 |
| Сопротивление заземляющей шины не более | Ом | 3 |
| Температура охлаждающей воды градусов | С | 20-28 |
| Давление воды на входе в установку, не более | бар | 3 |
| Давление сжатого воздуха на входе в установку Мин. - макс | МПа | 0,4 – 0,8 |
| Общая мощность оборудования, не менее | кВт | 105 |
| Система управления с визуализацией полностью автоматическая | Наличие | да |
| Чиллер для системы охлаждения с производительностью 15 л/с | Наличие | да |
Оборудование вакуумной системы:
| Элемент | Продукт | Описание | Бренд | Кол-во | Единица |
| 1 | Вакуумная система |
Турбомолекулярный насос Tgkine2204 DN250 |
Osaka | 2 | шт |
| Пластинчато-роторный форвакуумный насос 2X-70 | Nanguang | 2 | шт | ||
| Насос типа Рутс RTO-600 | Cuiman | 1 | шт | ||
| Пластинчато-роторный вспомогательный насос 2X-15 | Nanguang | 1 | шт | ||
| Вакуумные клапаны и аксессуары (сильфоны, трубы) из нерж стали 304 | HCVAC | 1 | комплект | ||
| Вакуумметр Zhenghua ZD54+ |
Chengdu Zhenghua |
1 | Комплект | ||
| Емкостный мембранный вакуумметр CDG045D (диапазон: от 13,3 Па до 3,0*10-3 Па) | Inficon | 1 | шт | ||
| 2 | Вакуумная камера |
В установке используется вертикальная вакуумная камера из нержавеющей стали, а дверь изготовлена из нержавеющей стали 304 толщиной 16 мм; Ввнутренняя стенка камеры отполирована; внешняя стенка обработана методом дробеструйной обработки; Внешняя стенка камеры и дверь водоохлаждаемые (ленточное охлаждение); 4. Камера оснащена 2 планарными магнетронами постоянного тока для распыления и 6 дуговыми мишенями (2 блока по 3 мишени) Механизм вращения образцов с магнитно-жидкостным уплотнением; |
1 | комплект | |
| Оснастка | Система вращения образцов предусматривает плавный пуск | наличие | да | ||
| Система подачи газа |
Массовый расходомер газа автоматический - N2 /1000 см3/мин Массовый расходомер газа автоматический - C2H2/ 500 см3/мин Массовый расходомер газа автоматический – Ar/ 1000 см3/мин Массовый расходомер газа автоматический - O2 /1000 см3/мин |
шт |
1 1 1 1 |
||
| Магнетроны | Плоская прямоугольная мишень с заслонкой | шт | 2 | ||
| Очистка в плазме тлеющего разряда | Источник Truplasma DC G2 4020，power 20KW | Huettinger, Germany | шт | 1 |
Краткая характеристика компонентов вакуумной системы
Форвакуумный насос 2 Х-70
Скорость откачки: 70 л/с
Мощность двигателя: 5,5 кВт
Количество: 2 комплект
Насос типа рутс RTO.600
Производительность: 600 л/с
Мощность двигателя: 5,5 кВт
Количество: 1 комплект
Турбомолекулярный насос TGkine2204MBWB-B
Скорость откачки: 2200 л/с
Мощность двигателя: 0,9 кВт
Количество: 2 комплекта
Вакуумметр ZD54+ZJ27
1 комплект
Массовый расходомер газа
Производитель: Sevenstar
Диапазон/Точность: 1000 куб. см/±1%
Количество: 4 комплекта
Дуговое распыление
Источник дугового испарения использует систему катодной дуги D95, которая имеет такие характеристики, как высокая скорость осаждения, малый размер частиц, однородная поверхность мишени и хороший эффект стабилизации дуги в высоком вакууме. Оснащен 6 комплектами дуговых мишеней диаметром 95 мм с высокой однородностью; Может стабильно работать при вакууме от 1*10-2 до 5 Па. 6 комплектов импульсных источников питания дуги с током до 250A; Каждый источник питания может управляться независимо.
Источник питания смещения
Truplasma DC G2 4020 Производитель: Höttinger, Германия Мощность: 20 кВт
Количество: 1
Оснастка поворотный стол и тележка
Оснащается по требованию заказчика
Грузоподъемность до 200 кг
ПЛК+сенсорный экран комбинированный с системой управления
- Автоматический процесс напыления
- Запись параметров в режиме реального времени
- Онлайн мониторинг и оповещения системы безопасности
- Возможность удаленного контроля по сети интернет
Автоматический интерфейс
Условия и способы оплаты
Оплата товара осуществляется только безналичным переводом денег согласно выставленному счету.
Мы с пониманием относимся, что купить дорогостоящее оборудование не всегда сразу возможно. Мы предлагаем нашим клиентам воспользоваться финансовым инструментом - Лизинг. Нашими партнерами по лизинговым компаниям являются “Дельта Лизинг”, “Балтийский лизинг” и другие, которые специализируются на оборудовании для металлообработки.
Мы предлагаем различные условия оплаты по согласованию сторон. Ниже указаны наши стандартные условия оплат, если оборудование поставляется под заказ.
50% - предоплата;
40% -по факту готовности к отгрузке со склада в г. Москве;
10% - после ввода оборудования в эксплуатацию..
Счета выставляются в рублях, Китайских Юанях, Долларах США или в Евро. Оплата счетов в Китайских Юанях, Долларах США или в Евро производится по курсу Евро ЦБ РФ.
Доставка
Доставка оборудования производится по всей территории России и стран СНГ. Обычно мы пользуемся услугами транспортной компанией “Деловые линии”, но вы можете подобрать транспортную компанию на свой выбор.
Самовывоз оборудования осуществляется по адресу Москва, Южнопортовая ул, 28 При получении товара необходимо иметь при себе доверенность или печать компании.
Время работы склада:
Пн-Пт: с 09:00 до 18:00;
Cб, Вс: выходные дни.
