Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
75 907 руб.
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
340 914 руб.
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
781 269 руб.
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50/25
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
600
По запросу
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
600
По запросу