Установка очистки в плазме (IRV-E001-032)
Назначение и принципы работы
Принцип работы установки основан на бомбардировании поверхности подложки ускоренными ионами из плазмы тлеющего разряда. При такой обработке происходит очистка с послойным снятием атомных слоев материала или загрязнений с поверхности обрабатываемого изделия. Продукты очистки отводятся вместе с газом при помощи вакуумного насоса. При этом образцы могут оставаться холодными, при до 180 секунд не происходит нагрева более 60 градусов.
В процессе работы происходит очистка от органических загрязнителей, дезинфекция и стерилизация поверхности. Ионная бомбардировка также активирует поверхность улучшая адгезию покрытий, наносимых после обработки.
Особенности установки
- Компактные размеры установки – настольное исполнение.
- Удобная загрузка образцов через дверь на передней части установки.
- Двухканальная подача газа при помощи ротаметров.
- Сенсорный дисплей 10,5” для удобства управления установкой.
- Источник питания RF 300 Вт (автоматическая подстройка согласования, 13,56 МГц).
- Автоматическое согласования источника питания с нагрузкой.
- Пластинчато-роторный насос для создания рабочего вакуума – в базовой комплектации. Скорость откачки 4 м3/ч.
- Подключение насоса через сильфонный шланг из нержавеющей стали.
- Диэлектрическая вакуумная камера из кварца.
- Воздушное охлаждение.
- Датчик измерения вакуума в комплекте поставки.
Рис. Схема принципиальная
Рис. Детали из комплектации
Опции
- Источник питания мощностью до 1000 Вт.
- Фильтра масляного тумана на выхлоп вакуумного насоса.
- Выбор цвета окраски оборудования.
Применение
- Металлообрабатывающая промышленность – очистка металлических поверхностей;
- Автомобильная промышленность: используется для предварительной обработки пластмасс и перед окраской в процессах производства деталей автомобилей;
- Легкая промышленность: для придания материалам таких свойств как гидрофильность, гидрофобность и поверхностная модификация текстильных изделий, фильтрующих сеток и пленок;
- Биомедицина: Обработка чашек Петри, сосудистых стентов. Также можно обрабатывать шприцы, катетеры;
- Аэрокосмическая промышленность: поверхностная обработка перед покрытием нанесением тонких пленок;
- Электроника: Ионное травление, обработка для улучшения паяемости;
- Полупроводник отрасль: удаление фоторезиста, предварительная обработка перед упаковкой;
Рис. Внешний вид установки с вакуумным насосом
Рис. Внешний вид установки. Вид спереди.
Рис. Упаковка для удобной транспортировки оборудования
Рис. Габаритные размеры полезного объема камеры
Технологический процесс состоит из следующих стадий:
- Размещение подложек и материала-мишени в камере.
- Откачка воздуха до высокого вакуума (~10⁻⁶ мбар).
- Распыление мишени магнетроном с последующим осаждением атомов/молекул на поверхности подложки.
- Контроль толщины и равномерности покрытия с помощью датчиков.
- Завершение процесса, охлаждение и напуск атмосферы в камеру.
Применение
Предварительная обработка перед:
- Производство оптических покрытий (линзы, зеркала).
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
- Создание декоративных и защитных пленок.
- Создание упрочняющих покрытий.
Преимущества
- Высокая чистота и однородность покрытия после очистки.
- Возможность работы с широким спектром материалов.
- Точная регулировка параметров очистки образцов.
Условия и способы оплаты
Оплата товара осуществляется только безналичным переводом денег согласно выставленному счету.
Мы с пониманием относимся, что купить дорогостоящее оборудование не всегда сразу возможно. Мы предлагаем нашим клиентам воспользоваться финансовым инструментом - Лизинг. Нашими партнерами по лизинговым компаниям являются “Дельта Лизинг”, “Балтийский лизинг” и другие, которые специализируются на оборудовании для металлообработки.
Мы предлагаем различные условия оплаты по согласованию сторон. Ниже указаны наши стандартные условия оплат, если оборудование поставляется под заказ.
50% - предоплата;
40% -по факту готовности к отгрузке со склада в г. Москве;
10% - после ввода оборудования в эксплуатацию..
Счета выставляются в рублях, Китайских Юанях, Долларах США или в Евро. Оплата счетов в Китайских Юанях, Долларах США или в Евро производится по курсу Евро ЦБ РФ.
Доставка
Доставка оборудования производится по всей территории России и стран СНГ. Обычно мы пользуемся услугами транспортной компанией “Деловые линии”, но вы можете подобрать транспортную компанию на свой выбор.
Самовывоз оборудования осуществляется по адресу Москва, Южнопортовая ул, 28 При получении товара необходимо иметь при себе доверенность или печать компании.
Время работы склада:
Пн-Пт: с 09:00 до 18:00;
Cб, Вс: выходные дни.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос